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ZH5497箱式多弧磁控鍍膜機

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產品名稱: ZH5497箱式多弧磁控鍍膜機
產品型號: ZH5497
產品展商: ghitest
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簡單介紹

該鍍膜機可鍍製不鏽鋼，鉻，鎢等多種金屬，也可鍍製合金膜或化合物，也可在工件表麵上鍍製單層或多層介質膜或金屬 ZrN TiCN TiAIN等硬質或裝飾塗層，具有鍍膜速度快，膜層好的優點。


ZH5497箱式多弧磁控鍍膜機  的詳細介紹
產品簡介
   該鍍膜機可鍍製不鏽鋼，鉻，鎢等多種金屬，也可鍍製合金膜或化合物，也可在工件表麵上鍍製單層或多層介質膜或金屬 ZrN  TiCN  TiAIN等硬質或裝飾塗層，具有鍍膜速度快，膜層好的優點。
1     真空室：鍍膜室尺寸900×900×1000mm3  ；箱式，前開門結構；
2     抽氣係統：機械泵：前泵70L/S；維持泵：2×-8旋片泵；羅茨泵：擴散泵：腔擴泵；分子泵﹝選配﹞
3     限真空：5×10-4Pa; 恢複真空：5×10-3Pa﹝小於20min﹞;
4     鍍膜係統：平麵磁控靶或圓柱磁控靶/直流功率源或中頻功率源；小弧源/柱弧源；
5     輔助鍍膜係統：脈衝偏壓電源。條形離子源﹝選配﹞。
6     膜厚測量係統：石英晶體膜厚監控係統﹝選配﹞。
7     進氣係統：自動壓強控製+多路流量控製係統；
8     操作方式：手動按鍵式；自動控型配置：研華工控機，80G硬盤，512內存+日本三菱PLC；15英寸液晶顯示觸摸屏界麵；
9     旋轉夾具：公轉/自轉夾具，速度從0～15r/min  *可調；
10    工作烘烤：室溫～300 ℃；
11    供電電源：三相380V，50HZ。
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