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UKSY-5功能薄膜特性測試儀

如果您對該產品感興趣的話,可以
產品名稱: UKSY-5功能薄膜特性測試儀
產品型號: UKSY-5
產品展商: ghitest
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簡單介紹

本測試儀是多用途綜合測量裝置，開展半導體材料的電阻性能的測試。由四探針測試儀和非晶矽薄膜電導率測量儀組成。四探針測試儀由主機、測試架等部分組成，測試結果由數字表頭直接顯示。主機主要由高靈敏度直流數字電壓表和高穩定度


UKSY-5功能薄膜特性測試儀  的詳細介紹
產品簡介
本測試儀是多用途綜合測量裝置，開展半導體材料的電阻性能的測試。由四探針測試儀和非晶矽薄膜電導率測量儀組成。四探針測試儀由主機、測試架等部分組成，測試結果由數字表頭直接顯示。主機主要由高靈敏度直流數字電壓表和高穩定度
恒流源組成。非晶矽薄膜電導率測量儀由樣品室、溫控係統、真空係統、高阻測量係統等部分組成。
測量範圍：
電阻範圍：1×106～1×1017Ω；
電 阻 率：0.001～200Ωcm
電 導 率：0.005～1000s/cm
可測晶片直徑： 200mmX200mm
探    針：碳化鎢或高速鋼
探針間距：1±0.01mm
針間*緣電阻：≥1000MΩ
機械遊移率：≤0.3%
本底真空度：≤10Pa
氣壓可控範圍：10～400Pa
襯底加熱 溫度：室溫～200℃
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