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產品名稱: HFGS-6341電子薄膜應力分布測試儀
產品型號: HFGS-6341
產品展商: ghitest
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簡單介紹
產品簡介
該產品主要應用在微電子、光電子生產線上和科研、教學等領域Si、Ge、GaAs等半導體基片及電子薄膜應力分布、光學零件麵形和平整度麵形、 基片曲率半徑測量測試。該儀器總測量點數多，能給出場麵型分布結果，適合於微電子生產線上產量的快速檢驗和微電子生產研究。
HFGS-6341電子薄膜應力分布測試儀
的詳細介紹
產品簡介
該產品主要應用在微電子、光電子生產線上和科研、教學等領域Si、Ge、GaAs等半導體基片及電子薄膜應力分布、光學零件麵形和平整度麵形、 基片曲率半徑測量測試。該儀器總測量點數多，能給出場麵型分布結果，適合於微電子生產線上產量的快速檢驗和微電子生產研究。
儀器基於幹涉計量的場測試原理，可實時觀測麵型的分布，迅速了解被測樣品的形貌及應力集中位置，及時淘汰早期失效產品。
產品特點
創的錯位相移
計算機自動條紋處理
測試過程自動
的曲麵補償測試原理
指標
樣品尺寸：≤100mm (4英寸)
曲率範圍：|R|≥5米
測試精度：5%
單片測量時間：3分鍾/片
結果類型：麵形、曲率半徑、應力分布、公式表示、數據表格
圖形顯示功能：三維立體顯示、二維偽彩色顯示、單截麵曲線顯示
電 源：AC 220V±10%, 50Hz±5%
功耗：100W
外型尺寸：(L×W×H) 285mm×680mm×450mm
重 量：36kg
