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 功能薄膜特性測試儀

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    功能薄膜特性測試儀
    本測試儀是多用途綜合測量裝置，開展半導體材料的電阻性能的測試。由四探針測試儀和非晶矽薄膜電導率測量儀組成。四探針測試儀由主機、測試架等部分組成，測試結果由數字表頭直接顯示。主機主要由高靈敏度直流數字電壓表和高穩定度
    恒流源組成。非晶矽薄膜電導率測量儀由樣品室、溫控係統、真空係統、高阻測量係統等部分組成。
    測量範圍：
    電阻範圍：1×106～1×1017Ω；
    電 阻 率：0.001～200Ωcm
    電 導 率：0.005～1000s/cm
    可測晶片直徑： 200mmX200mm
    探    針：碳化鎢或高速鋼
    探針間距：1±0.01mm
    針間，緣電阻：≥1000MΩ
    機械遊移率：≤0.3%
    本底真空度：≤10Pa
    氣壓可控範圍：10～400Pa
    襯底加熱 溫度：室溫～200℃
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